各校計畫成果

活動簡介

本團隊建立矽光子積體光路及超穎材料所需的奈米製程、元件電磁波模擬設計、測試設備，成果簡述如下。(1)奈米製程開發：本團隊在silicon-on-insulator (SOI)基板上，先使用電子束微影定義出光波導圖形，再以電漿蝕刻將圖形轉移至單晶矽層，已成功製作各種矽光子元件。(2)矽光子積體光學元件的電磁波模擬：我們使用有限時域差分及嚴格耦合分析，設計出可單片集成於矽光子平台的超穎透鏡。(3)測試設備之設計開發：本團隊自行設計專用於矽光子晶片之測試設備，該設備將使用光柵耦合和端面耦合的方式，將光纖中的光耦合到矽光子晶片。並同時配置有高倍率的紅外顯微鏡，可直接觀察矽光子和超穎透鏡的紅外影像。